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气体管路控制系统作用

主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易1燃易1爆气体，如氢气等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入气体回火防止器等安全控制装置。

阀门是在流体系统中，用来控制流体的方向、压力、流量的装置，是使配管和设备内的介质(液体、气体、粉末)流动或停止并能控制其流量的装置。阀门是管路流体输送系统中控制部件，用来改变通路断面和介质流动

方向，具有导流、截止、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。

气体管路控制系统可以用于管理控制气体供应，包括流量，压力，开关等，同时带有泄漏报警1灯功能，能够有效保护用气安全。

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大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用1先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

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试验室供气需求

目前大多数试验室中的各种分析仪器如气相色谱仪、气相色谱质谱仪、液相色谱质谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子质谱仪等都需要连续使用高纯载气和燃气，因此试验室的安全、连续、稳定运行需要我们考虑如何将这些气体供到各试验室中放置的分析仪器。阀门是在流体系统中，用来控制流体的方向、压力、流量的装置，是使配管和设备内的介质(液体、气体、粉末)流动或停止并能控制其流量的装置。

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氦质谱检漏仪

随着科技的迅猛发展，氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检漏仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观1新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。高纯气体的输送管路系统随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0。